Растровая (сканирующая) электронная микроскопия является мощным инструментом исследований широкого круга материалов, и приборных структур микро- и наноэлектроники. ... Создан уникальный тороидальный спектрометр (дополнительная приставка к сканирующему электронному микроскопу), с помощью осуществляется неразрушающая диагностика трехмерных микроструктур методом томографии в отраженных электронах, а также аналитическая спектроскопия во вторичных электронах. ...