Поиск по: -
Поискать по всем серверам
На этой странице приведены все страницы, которые ссылаются на http://www.issp.ac.ru/snl/publen.html. Показаны документы 1 - 1 из 1.
1. SNL ISSP RAS
... Equipment . Technological equipment provided by SNL . The Clean Room B (optical lithography, class 1000, 2 local areas – class 100) . temperature stability ± 1 я , humidity* stability ± 3%) . 1) Mask aligner (Optical lithography system) SUSS MicroTec MJB-4 . ... e ) Water purification system . ... The clean room A (EBM lithography, class 1000, 1 local area class 100) . temperature stability ± 1 я ) . ... 3) EBM lithohraphy system (to be installed soon) . ... SNL ISSP RAS © 2009 ...
[
Сохраненная копия
]
Ссылки http://www.issp.ac.ru/snl/equipmenten.html -- 11.5 Кб -- 06.05.2011
Похожие документы
Похожие документы