... Список оборудования . Список оборудования, имеющегося в распоряжении СНЛ . Чистое помещение В (оптическая литография, класс чистоты 1000, 2 локальные зоны чистоты 100) . стабильность температуры + 1С, стабильность* влажности + 3%) . 1) Установка оптической литографии SUSS MicroTec MJB -4 . 2) Установка нанесения фоторезиста SUSS DELTA 10 . ... 4) Вытяжной шкаф . ... Чистое помещение A (электронная литография, класс чистоты 1000, 1 локальная зона чистоты 100) . ...