... В частности, отраженные электроны, с энергиями 1-50 кэВ выходят с разной глубины исследуемого объекта (доли и единицы мкм), причем каждой глубине выхода, т.е. глубине зондирования, соответствует свой определенный интервал энергий обратнорассеянных электронов. Если детектировать эти электроны в узком энергетическом окне, то можно получить изображение скрытого подповерхностного слоя исследуемого образца. ... На рис. 2 показано, как реально происходит селекция электронов по энергиям и по глубине. ...