... Объемные вакуумные насосы . ... Все вакуумные насосы можно разделить на высоковакуумные и низковакуумные, а по физическому принципу действия - на механические, сорбционные, ионные. ... Предельное давление большинства вакуумных насосов определяется газовыделением материалов, из которых изготовлен насос, перетеканием газов через зазоры и другими явлениями, возникающими в процессе откачки. ... Рабочие диапазоны давлений вакуумных насосов в основном определяются их принципом действия. ...