Документ взят из кэша поисковой машины. Адрес оригинального документа : http://www.srcc.msu.ru/nivc/sci/publ/2012/r2n072.htm
Дата изменения: Tue Apr 9 15:36:55 2013
Дата индексирования: Fri Feb 28 16:18:47 2014
Кодировка: Windows-1251
A. A. Goncharsky and S. R. Durlevich E-beam origination technology: Current state and development prospects. - The Holography Times, Journal of Hologram Manufacturers Association of India Volume 6, Issue 19, October 2012.

A. A. Goncharsky and S. R. Durlevich E-beam origination technology: Current state and development prospects. - The Holography Times, Journal of Hologram Manufacturers Association of India Volume 6, Issue 19, October 2012.

Ключевые слова: нанооптика, электронно-лучевая литография, многоградационный микрорельеф, плоский оптический элемент, дифракционный оптический элемент

Текст: http://www.homai.org/AdminPanel/PDF/E%20beam%20origination%20technology.pdf