В работе дано определение эффекта самокомпенсации ошибок в толщинах слоев при использовании широкополосного метода контроля толщин слоев. В работе впервые дана числовая характеристика проявления эффекта самокомпенсации. Результаты получены с помощью анализа результатов десятков тысяч вычислительных экспериментов по производству покрытий и десятков экспериментов по синтезу покрытий.

Ключевые слова: Design, optical monitoring, computational experiments