В работе исследуется возможность применения метода молекулярной динамики (ММД) для суперкомпьютерного моделирования современных процессов напыления оптических нанопокрытий. Дается обоснование выбора физических и технологических условий процесса напыления, проводятся оценки наиболее значимых параметров моделирования. Обсуждаются первые результаты использования ММД для моделирования процессов напыления пленок диоксида кремния, свидетельствующие о перспективности применения суперкомпьютерного моделирования для исследования данных процессов.

Ключевые слова: суперкомпьютерное моделирование, молекулярная динамика, тонкие пленки, нанопокрытия, диоксид кремния