Исследователи
факультета наук о материалах МГУ имени Ломоносова во главе с Андреем Елисеевым опубликовали в журнале Angewante Chemie работу, посвященную оптической бесконтактной печати нового поколения (метода формирования на поверхности подложки электронных схем и наноструктур), которая должна стать ответом на вызов, брошенный производителями микроэлектроники.
Электромеханическая рентгеновская литография сочетает преимущества рентгеновской фотолитографии с универсальностью электрохимической обработки. Уникальным такой способ делает совмещение воздействия рентгеновского излучения с длиной волны в единицы ангстрем (десятые доли нанометра) и электрохимического синтеза новых планарных материалов с упорядоченной структурой на границе раздела твердой подложки и раствора.
В результате испытаний ученые смогли получить структурированные слои электроосажденного металлического никеля на плоской подложке кремния с напыленным слоем золота. Применяя рентгеновское излучение через кремниевую маску, расположенную на расстоянии четырех микрометров, удалось увеличить ток при осаждении никеля из электролита на подложку. На сегодня такой метод - самый продвинутый, хотя новинки в этой области появляются с завидной регулярностью.
Nano News Net
