Основные научные направления кафедры

Взаимодействие заряженных частиц с поверхностью

Ионно-пучковые нанотехнологии

Сверхзвуковая плазменная аэродинамика

Сканирующая электронная микроскопия структур микро- и наноэлектроники

Современные проблемы физики газового разряда

Углеродная электроника

Физика ВЧ разрядов, плазменных ВЧ технологий и космических движителей

Электродинамика плазмы и плазменная СВЧ электроника