Ионно-пучковые нанотехнологии
| д.ф.-м.н., в.н.с. В.С.Черныш |
к. 3-57 (ФФ), т. (495)939-29-89 к. Ц-60 (ФФ), т. (495)939-19-79 к. 1-40 (19-й корпус НИИЯФ), т. (495)939-37-70 |
| к.ф.-м.н., с.н.с. А.С.Патракеев |
к. 3-57 (ФФ), т. (495)939-29-89 к. Ц-60 (ФФ), т. (495)939-19-79 к. 1-40 (19-й корпус НИИЯФ), т. (495)939-37-70 |
| к.ф.-м.н., н.с. К.Ф. Миннебаев |
к. 3-57 (ФФ), т. (495)939-29-89 к. Ц-60 (ФФ), т. (495)939-19-79 к. 1-40 (19-й корпус НИИЯФ), т. (495)939-37-70 |
При взаимодействии ускоренных ионов с поверхностью твердых тел наблюдается целый комплекс процессов, связанных с эмиссией различного рода вторичных частиц, рассеянием бомбардирующих ионов поверхностью, проникновением ионов вглубь твердого тела и т.д. Особое место в этом ряду занимает явление эмиссии атомов твердого тела, получившее название распыления и играющее основную роль в разрушении поверхности. Экспериментальные и компьютерные исследования пространственных распределений частиц, распыленных из одно- и многокомпонентных мишеней, изучение процессов формирования нанорельефа на поверхности различных материалов, создание наноструктур как с помощью распыления, так и путем ионного внедрения, направлены на разработку физических основ новых нанотехнологий.
Изучаются основные закономерности и механизмы фоpмиpования заpядовых состояний атомных частиц пpи их взаимодействии с повеpхностью твеpдых тел и наноструктур, а также влияние электронных переходов на возможности диагностики и селективной модификации поверхности.
|
|
|
|
|
| Имплантатор на энергии до 500 кэВ |