![]() |
Рау Эдуард Ивановичдоктор физико-математических наук, профессор
Раб. тел. (495) 939-38-95, т. (495) 939-54-33
|
Дата рождения:
3 декабря 1941 г.
Образование, ученые степени и звания:
Физический факультет МГУ, 1967 г.
Кандидат физико-математических наук, 1975 г.
Доктор физико-математических наук, 1993 г.
Профессор, 1995 г.
Научные интересы:
Микротомография электронных микро- и наноструктур
Диагностика полупроводниковых микроструктур в сканирующей электронной микроскопии
Участие в советах:
Член научного совета РАН по электронной микроскопии
Член научного совета РАН по неразрушающим методам диагностики микроструктур
Член докторского диссертационного совета Д 501.001.66 при МГУ
Член докторского диссертационного совета Д.002.081.01 при Институте проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов РАН
Статьи:
Автор более 250 статей в научных журналах, имеет 26 авторских свидетельств на изобретения
Ученики:
Подготовил 14 кандидатов наук