Документ взят из кэша поисковой машины. Адрес оригинального документа : http://phys.msu.su/upload/iblock/73b/pril1.pdf Дата изменения: Mon Nov 16 13:21:23 2009 Дата индексирования: Mon Oct 1 20:04:19 2012 Кодировка:

«-»

,
( ) SPP, STS Aviza Technology Ltd. - SPP Process Technology Systems UK Limited (SPTS). , , , CVD, LPCVD, PECVD, PVD, . 18 SPTS . STS :
, STS - DRIE (Pegasus) (TSVs for IC Packaging Application) SiO2 Si3N4 (STS Advanced Planar Source (APS) Technology)





, , , , ,

SPTS: (, , ), , 3D , , .

: - 78, : +7 495 433 47 77

, « ».

..

«-», . (495)-433-4777