Документ взят из кэша поисковой машины. Адрес
оригинального документа
: http://lib.mexmat.ru/books/49348
Дата изменения: Unknown
Дата индексирования: Sun Apr 10 21:09:08 2016
Кодировка: Windows-1251
Электронная библиотека Попечительского совета механико-математического факультета Московского государственного университета
Нашли опечатку? Выделите ее мышкой и нажмите Ctrl+Enter
Название: Handbook of Semiconductor Wafer Cleaning Technology
Автор: Kern W. (ed.)
Аннотация:
This book brings together into one volume all pertinent knowledge on semiconductor wafer cleaning and the scientific and technical disciplines associated directly or indirectly with this subject. The book provides the first comprehensive and up-to-date co