Документ взят из кэша поисковой машины. Адрес
оригинального документа
: http://istina.msu.ru/patents/413774/
Дата изменения: Unknown Дата индексирования: Mon Apr 11 12:20:00 2016 Кодировка: UTF-8 |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАучно-технической информации |
||
The present invention relates to manufactur- 5 ing of three dimensional (3D nanostructures, particularly nanostructures having dimensions in the range of below 100 nm.