Оптическая спектроскопия материалов опто- и микроэлектроники
В этой группе интенсивно развиваются методы неразрушающего контроля планарных твердотельных систем, широко используемых в современной электронике. Они основаны на регистрации изменений в спектрах комбинационного рассеяния света в результате воздействия на образец таких технологических факторов, как ионная имплантация, легирование, термический и лазерный отжиг. Развитые экспериментальные методики позволяют, в частности, получать такую физически важную информацию как частоты и собственные векторы для фононов в центре зоны Бриллюэна, проводить неразрушающий контроль содержания кислорода в ВТСП соединениях, определять ориентацию кристаллических пленок.
Руководитель направления: доц. Л.П. Авакянц, тел. 939-5070, комн.1-37.
01.11.2010
|
Разделы
Физфак
МГУ