Документ взят из кэша поисковой машины. Адрес оригинального документа : http://danp.sinp.msu.ru/pci2012/vecher30_1.pdf Дата изменения: Tue May 22 23:32:24 2012 Дата индексирования: Mon Oct 1 21:22:45 2012 Кодировка:

, H+ .. , .. , .. . .. , , -- () 400 SiO2 280 24 5 1017 -2 - . 600-1100 20 . - (SIMS), - (AFM), (XTEM), . +. . Raman , Si. 1000 . 2 5 , 70 %. SIMS , 1000 20 .% . , . -- - SiO .. . .. , , -- () " " . SiO2, , , . SiO2 . SiO2 Si+, Ge+, F+ N+ - . , Si+ Ge+ 1016 -2 . SiO2 F+ N+ . , F+ , . N+, F+ . SiO2. , .. 1), .. 2), .. 3), .. 2), .. 3), .. 2), .. 4) , , 2) , , . .. , , 4) - , ,

2

1)

3)

, . , -0,3. 50 -80 . « -003». - . .


- . . . , Zr-Si .. 1), .. 2) , .. 2), .. 1) 1) . .. , , 2) , , , (~0.6 ) (35-40 /). () : 3 -30 /2, 100 . , " (1 ) ­ ". , ZrSi2. ( 0,2-0,5 , 1 ), ( 1-3 ). ( 50-100 ) , . , - . .

TiZrAlN, .. 1), . 2), .. 1), .. 1), .. 1) , , 2) ', , ,

1)

TiZrAlN H2+ Xe2+. 300 Si (001). Al 7.1 36.4 .% Ti:Zr, ~ 1. H2+ (30 ) Xe2+ (180 ) 1 1016 5 1016 -2. (Ti,Zr,Al)N. Al , . (111) (200) Al. Al 13 .% h-AlN. , H2+ TiZrAlN. - , . Xe . Al 36.4 .% . , Xe, , . , .. 1), .. 1), .. 1), .. 2), .. 3) , , . .. , , , ,
2) 1)

3)

/1/ () (, , ). 1 -0 1 .


, , 10 ­ 20 15 ­ 30 /2. , , , , . , -, , 10 /, . 1 .. . // . ­ 2010. ­ 1. ­ . 24­32.

- .. 1), .. 1), .. 1), .. 1), .. 2) 1) .. , , « » .. , ,

2)

() , , , /1/. /2/. , «» . in situ Si-I Si-II ( ), , /1/. Si-I Si-II (-4,5) - (90Sr + 90Y ) F = 2,34в1010 cm-2. Si-III, Si-XII a-Si, - ( I = 1,3в105 cm-2s-1). « - » 2009 ­ 2013 (. : 892). 1 2 Gridneva I.V., Milman Yu.V., Trefiliv V.I. // Phys. Stat. sol. (a), 1972, 14 , P. 177. Dominich V., Gogotsi Y. // Rev. Adv. 3, P . 1. Mater. Sci., 2002,

- .. 2), .. 1), .. 1),3), .. 1), .. 1),3) 1) , , 2) , , 3) , , , . , , /1/. ; 5 - 15 . . , , 200 3500 , . 1. .., .., .., ., B.C. . // : , . 2011, .3, 1, .3.