Документ взят из кэша поисковой машины. Адрес оригинального документа : http://danp.sinp.msu.ru/pci2010/stendvecher_26.pdf Дата изменения: Thu Apr 29 20:14:48 2010 Дата индексирования: Mon Oct 1 21:45:35 2012 Кодировка:

V­G a Ar + N + .. 1), .. 2), .. 1), .. 1), .. 1) « », , 2) , ,
2)

, . - , . . V­5Ga­6Cr V­5Ga­0,05Ce Ar+ N+ 20 1022 2·1022 2 6·1018 -2-1. ~700o. . -- He+ 1,7 . 170 - . , Ar+ V­Ga­Cr. , . Ar+ 7·10-2 (70 ), (3,25 ) . . .


.. 1), .. 1), .. 2), .. 2), .. 1), .. 2), .. 1), .. 1), .. 1), .. 1), 1) « », , 2) , , . . 3,5­4 , 1026 /2. 1022 3·1022 He++/2 ( 10 ). "" ( 250 , 1025­1026 /2). ( ) . , 5­6 . .


, Si
1)

.. 1) , .. 2) - , . , 2) . .., ,

SiO2/Si (C4F8), , Si (). Ar/C4F8 . - C 1s . , /1/. , C-F3, -F2, C-F - . 1 /2 /F 34,2. SiO2/Si . Si SF6 . . 1. .., .. // . 2006, .36, 4, .35.


Zr-Nb2,5 % .. , .. , .. , .. ­ .., . , 70 . (), , ( ). , . . . , . , , , , , . Zr-Nb2,5% .


, , .. 1), .. 1,2), .. 3) .. 4), .. 4) 1) , , 2) , 3) 4) , , . , (). , , : -1, () (-). , . -, - -1. -3, . - - . () . , , , . , .


por- S i/SnO x .. 1), .. 1), .. 1) .. 1), .. , . .1), .. 1), .. 1), .. 1), .. 2) 1) . .. , . . 2) . .. , . .
1)

. (por-Si) SnOx. por-Si/SnOx, . ­ , -0.005 (111) p- HF(40%) : 3H7OH (1:1). 5 , - 50%. (~100 ) . «» - (30% H+ 70% C+) 300 , 60 20 /2. - 1 , (), . , 150 . .


Be, S i , A l , Ti, Zr, W He + Ar + .. , , /1/. , , - . ( 1 ), Be, Al, Ti, Zr, W Si /1, 2/. Be, Al, Fe, Mo, Y (= 3в10-4 ) zt = 30­50 , «» , Ar+ ( = 10 , 3­15 , j = 20­30 /2). , - /2, 3/. () SA-2000, ±3 10-3­102 .%. , 100­200 100­200 350­600 ( 5 ). : 1085-282 1. .. . ­ .: , 1990, .216. 2. .., .. // . . 2007. 9. . .158. 3. ., . . . . .., ... / . ..., .: , 1983, .284.


.. , .. , . , , , , , ./1/ . / 2 /. ( . .) / 3 / ; , . /4/. , . , / 3 / , . 1. 2. 3. 4. .., ..// 2008 4, . 27 .., ..// 2007 3, 51 .. , 2010, .., ..// . 1983 2, . 930


La MnO 3-
1)

. 1), . 1), .. 2) , . , 2) , . ,

LaMnO3+, - . 3 . , , 41 . 400 ­ 5000 , 80 % 18. 0.26 . - ±2°. «», , . C(x,t) 18 1.5 (NRA), 2- - 18O (p, ) 15N 762 . , , = (1.67±0.03) k0 = (1.8·102±1.3·102) /. , LaMnO3+ «» . : ~ 2 , ~ 7 . 09-03-00335.


13 , . , . , . , , on-line. ZrO2 , 9.5 .% Y2O3. 13 , 13+ 60 , 1·1017 -2. . 850 ­ 1000 0 . , , 7 .%. 150 . . 13 , . 13 , 13C(d,p) 14C. . 2.7 . , ZrO2 . , , , . 08-03-00750.


- - .. 1), .. 2), .. 2), .. 2), .. 1) , , 2) . . . , ,
1)

156. (). (P), (JE). , . , . . (TiW)C W . : JE 30 /2 , 50 /2 - . 1015 1017 -3. . (2,5 ) . (1 - 4,5 ) . (102 ­ 104 ) . .


- , - .. 1), .. 1), .. 1), .. 1), . 2), .. 3), 1) , , 2) , . , , , .

3)

, -- (MEMS). - (Ni/a-C:H), - C2H2. Ni/a-C:H 22 ( 0 100 %) , (NC) . - Ni/a-C:H . NC40 .% - . 5 , Ni3C, . NC>40 .% , , , . , - - , .


18 .. 1), .. 1), .. 1), .. 2), .. 2) 1) , , . .. , ,

2)

() - . , , . , , 18 , . , Fe3W3C VC -Fe, , . , -Fe. , , 18. , . .


, .. , .. , .. , , /1/, - . . , - , . 156 4 , 500° 1 . () (), . , - 1 . - . 1. Kazmanli M.K., Urgen M., Cakir A.F. // Surface and Coating Technology, 2003, 167, p.77-82


, .. 1), .. 1), . 2), .. 3) 1) , , 2) , , - , ,

3)

Ti-Zr-N, TiCr-N Ti-Ta-N, : . 1 (3) Ni 1-2 , . (Ti,Zr), (Ti,Cr)N (Ti,Ta)N . , , . - (, ). . , . Ti-Zr-N, , . , -.


- , .. 1), .. 1), .. 2), .. 2), .. 3), .. 3) 1) , , , , 3) . .. , ,

2)

(), , , . - 88, . ~ 1200 , . (400 ). 13 21 /2 . , . . 6-10 .% , . 13 /2 Ni5Zr Ni3Zr - . Ni5Zr. .


, .. 1), .. 1), .. 1), .. 1), .. 2), .. 2), .. 3) , , 2) , , 3) . .. , ,

1)

( 20 ) , . . . , . , M ( q , ) , :
M


M i ( q ) ,

i -

(q) =
n





( n )e

- iqn





=

2 , u u

­ , u ­ u . .


, .. 1), .. 1), .. 1), .. 1), .. 2), .. 2), .. 3) 1) , , 2) , , . .. , ,

3)

( , /1/) . , . d D 2D D =- S + 2 - ( SnK + nH ) nr V ( r , r) Sd 3r + dt kT kTnK (1) nH ) d 3 r , +nH + S nr V ( r , r nK (t ) ­ , D ­ , S (r , t ) ­ , ­ , k ­ , T ­ , nH ­ ,
nr ­ . (1) -.

nK ­ , V ( r , r ) ­ ,

1. .., .., .. . // , 4, 2005. ­ .31-35.


« - », . . 1), . . 2), . . 2) , . . 3), . . 3), . . 3) 1) , , , , 3) , ,

2)

() , ( 40 /2) ( 200 ). - « - », . 1,5 . 15-25 , 50-200 - 8-15 /2. , 14-15 /2 6-20 . : ( ) . , 2,9 е. 1415 /2 CrSi2. - .


. .. 1), .. 2), .. 1), .. 2), .. 1) 1) , , . ,

2)

10J50 /2 - 156 () (). , JE . ( ) . . J ( ) ( ) WC (Ti,W)C . , . (o3W3C, o6W6C, W2C). 2 J, . , 3 JE= 50 /2. (Ti,W)C W2C.


.. , .. , , 3 ~1 . , , . . ( ) 15 . , . 0,3-0,5 . , , . . ( ), ( ). . , : ( , , ) . , . ~1 , ~10 . , , , , .


- « / » .. 1), .. 1), .. 1), .. 2), .. 2), .. 2) 1) , , , . ,

2)

(), - , , . ( ) - . - , -Ti(Mo), . , - 20 /2, 25 /2, (5,8 .%) . - , . 50 200 (20 /2) - 100 . , -, (4 ­ 5 ), «/».