Документ взят из кэша поисковой машины. Адрес оригинального документа : http://danp.sinp.msu.ru/pci2008/stend_utro_29.pdf Дата изменения: Tue Apr 29 04:49:02 2008 Дата индексирования: Mon Oct 1 21:39:23 2012 Кодировка:

(Zn,Co)O .. 1), .. 1), .. 1), .. 1), .. 2), .. 2) 1) , , 2) , ,
P P P P P P P P P P P P P P P

, ZnO, Co, () , . (Zn,Co)O, , , , , . (Zn,Co)O, CVD R-Al2O3 (111) ZrO2(Y2O3). , , CVD , , CVD . (111) ZrO2(Y2O3) , «» «» , . , (Zn,o)O , , - Co2+. . , , CVD , , , , . CVD- (Zn,Co)O .
B B B B B B B B B B B B B B B B P P


25 () ()
P P P P

.. 1), .. 2), . . 3), .. 1) . .. , , 2) , , 3) . .. , ,
P P P P P P P P P P P P P

2)
P

, . . ( 10) CdSb (010) CdP2 (100), , 130, 25, 3 - 5 (0,3 - 2,0 % .) , ( 300 - 1 3 % , - 71,2 % .), ( 6 - 7) ( 10,22) , - () SiO2. . 2000 15 . . , , , , . Nt (/ 2), , . dSb Nt = 6 - 8 ` 1015 /2, Nt : Si, GaAs ( ) ZnO, - SiC ( ). , , .
B B B B P P P P


- . .. 1) , .. 2) 1) , , 2) , ,
P P P P P P P P

- (Me = Al, Au, Pt). O2+, . . /. , , . . - O+, Si+ Me+, SinOm+, MeO+, . - (, , ..). Me/SiO2 - , , , . -, , MeO+. , SiO2, , « » . - . , . , ( , ) -, , .
B PB P P P P P P P B B B PB P P P B B P P B B


F/SI(111)7в7 .. , .. , .. . .. , , Fe/Si(111), 90- , , . - . (1в10-10 ) . 100 . Si 2p Fe 3p , , h = 135 , Si 2p . , (111) 0.1°. 1 - 30 (ML), 1 ML/min. , Fe , FeSi CsCl. . 10 ML. С . , Fe-Si, . 80°. -FeSi. , 200°, Fe/Si, 550°. 650°, -FeSi -FeSi2. ( 07-02-01009-) - BESSY.
P P B B




.. 1), Yu. Kudriavtsev2), .. 1), ..
P P P P P P P

1)

- , . --, 2) Dep. Ingenieria Electrica, Cinvestav-IPN, Mexico, D.F. Mexico
P P P P

1)

- (SIMS) . 4- . <111> p-Si 3-5 . 300 , 31014 31015 -2. SIMS- . ~ Rp . Rp. , , 3-6 , , . 500-900 (D = 0,018 2/ = 1,29 /T) (50-70 ).
P P P P P P B B B B P P B B P P B B


- .., .. «», , , 50-200 , (Al, Ag, Cu, Ni, Ti) 100 (Si, SiO2, Mo) . 20-100 , , 1 /2 1013 1017 -2 . - (G) , , , 1 , 10 .
B B P P P P P P P P

/
B B

Ri max, N14 125 Ag 162 Ar40 125 Ag 115 Ag107 15 Ag 11 Ar40 125 214 C12 75 Al 256 N14 125 Cr 178 N14 75 Cr 126 Ar40 125 Cr 116 Cr52 25 Cr 24 Xe131 75 Al 63 31 75 Al 152
B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B B

G, / 2,35 1,27 2,41 1,81 5,59 2,31 2,62 9,41 7,60 1,75 2,85 10-9 10-8 10-1 10-9 10-1 10-9 10-9 10-9 10-1 10-8 10-9
P P P P P P P P P P P P P P P P P P P

0
P

0
P

0
P

RE 0,,1, 142 78 6,5 159 215 148 102 86 19 42 122
B B

, % 4,8 3,5 0,7 0 0,8 1,8 3,0 0,8 0,4 0 0,2
B B

O+, N+, P+, Ar+ , , , 107 /. ( 2-10 ) , . Ag-Mo 80 . , .
P P P P P P P P P P


- CdS .., .., .., .. , . , , .. r-, AIIBVI , , CdS. , , Cu CdS. R- () 10,95-1 21,35-1,4 . CdS 1 < <1,7, "" . , r-, . CdS CdS:Cu (~10%). , . , : (1) , r- ( 1 < <1,4); (2) Cu , . . , Cu .
P P P P B B B B


- 1H(15N,)12C, 15N(p,)12C Fe+0,2. %1 Fe+0,2. %15N
P P P P P P P P P P P P P P

.. , .. " - " . , "" , , , , . .1 15N(p,)12C, 429,6 . .­123 . , (110) Fe+0,2.%15N (.=0). , - - , . . 2/3 (110). . ­. , , , , 15N. .2 . Fe+0,2.%1 - . 1H(15N,)12C 15N. 6,385 . .­1,8 . , - , . ­ ( ). . .
P P P P B B P P B B P P P P P P P P P P P P P P B B


.. 1), .. 2), .. 2) 1) . ­ , . , 2) . , . ,
P P P P P P P P P

, , , . . -- , ( , . .). , , . . (, , ) , , . , : ; , (2 - 2.5 ); ; . . , . -6 25° 2 0,5 /2 5 , 200 . (D) 10 ­ 40 . . ( ), ­ ( ). , , ~ 10-30% .
P P



1)
P P

..1) , ..1), ..1), ..2) , , 2) , .,
P P P P P P P P P

« » . - ~10-4 ­ 10-2 , - ( , ). (2), 130 1012...1014 -2. , , , - , , - - (.).
P P P P P P P P P P

)

)
P P P P

. () () 1013 /2 2.


- .., .., .. ( ), , , , . 110 635 : ­ «-», ­ , ­ . 1,4 /, 0,5 . , - . . , Ar+ 2в1018 /2 ( ). - /1-3/, , 10-6 ­ 10-3 / , .
P P P P P P P P P P

1. . . . .: , 1984, 264. 2. ., .. 3- . .: , .1. 1987, 587. 3. . . .: , 1962, 408.


.. , .. , .. , .. , ,, E-mail:levenets@kipt.kharkov.ua . 10-19.9 %; 11-80.1 %, 12-98.9 %, 131.1 %, . . - , () . : 10B(p,)7Be 429 ; 11B(p,)12C 4.43 . : 12C(p,)13N 2.36 ; 13C(p,)14N 8.0 . - "". 550 , 2,5 , 3000 . 20 . , Ge(Li) .
P P P P P P P P P P P P P P P P P P P P P P P P

10

10 000

B(p,)11C 429

511 , /

1 000

11

B(p,)12C 4439

12

C(p,)13N 2365

100

10 0 4 00 80 0 120 0 1 60 0 20 00



. - .


.. - , . , - (), . , () (.. Si ) . . , ( ), . (P < 1в10-3) . . . , , -, ­ . , - , SIMOX- /1/. , . -, .
P P

1. 2193803 , 7H01L21/76. - . // .., .., .., .. ­ . 09.01.2001; . 27.11.2002., - .33.


- .. , .. , .. , . , - . , - , , . - . - . , , T1 t = a1 2T1 z 2 , 0 z d , T2 t = a2 2T2 z 2 , 0 z h(t ) 1- , 2-; T1 (z ,0 ) = T2 (z ,0 ) = 0 T1 (d , t ) = T2 (0, t ) , 1T1 (d , t ) z = 2 T2 (0, t ) z T1 (0, t ) = f (t ) , 1T1 (0, t ) z = g () , T -, a -. , -. t , d - , h(t ) = vt - , v , f (t ) g (t ) - . T2 (z, t ) T2 (h(), t ) , f () g () t t t , - .


- . .. , .. , .. , . , - . , (, ) , . . -1 r ( (T )r T r ) r + ( (T ) T z ) z = 0 . : T (r ,0) = T0 ; ~ T ( R, z ) = T0 , - T (r , H ) z = I 0 exp(- r 2 r02 ) . ~ - , T0 ­ , I 0 - , r0 - , R - , H - . . 6- () . , , , . 6- .