Документ взят из кэша поисковой машины. Адрес оригинального документа : http://danp.sinp.msu.ru/pci2008/utro2_28.pdf Дата изменения: Tue Apr 29 05:10:04 2008 Дата индексирования: Mon Oct 1 20:53:14 2012 Кодировка:

, , SiC
1)
P

.. 1), .. 1), .. 1), A. HallИn 2) - , 2) Royal Institute of Technology, Stockholm, Sweden
P P P P P P P P P P

, , , SiC . /1/ , , , , , . ... , . 6H-SiC, c PFn+ (n = 0, 2 4) 1.3 / .... . , , .. , SiC. . (ZnO GaN)/2/. , , SiC. 08-08-00585.
B PB P

1. .., .. // 2007, .41, . 7 2. Azarov A.Yu., Titov A.I., Kucheyev S.O. // XVIII -2007, , . 2, . 235.


GaN .. 1) , .. 2) , .. 2) , .. 2) , 1) Lawrence Livermore National Laboratory, Livermore, USA 2) - ,
P P P P P P P P P P P P

GaN . , P+ 40 GaN. . (), . 40 keV P into GaN at RT (~17 1.0 Flux = 1.9 10 ions cm s Dose, cm ) GaN 5e14 1e15 0.8 . 2e15 3e15 5e15 0.6 7e15 1e16 1.5e16 0.4 , . 0.2 GaN. 0.0 0 20 40 60 80 100 , Depth, nm , TRIM /1/. . , . , , . 08-08-00585
P P

+

12

-2 -1

-2

Relative disorder

1. http://www.srim.org/
HTU UTH



1)
P P

..1) , ..2) - 2) - ...
P P P P P

, , () /1/. . ( 900 ) ( 8 ) , FZ-Si 4H-SiC (CVD). ( ) - 1 ( ). SiC DLTS. Si SiC . , ~ 2.0 -1, 1.3 -1 , , 610 285 -1 - . , , , . , , . , . . , FZ-Si 4-SiC (CVD) ( 0.1 -1 150 -1 ), . (SNSF IB7420-111116).
P P P P P P P P P P

1. .. . - .: , 2003, 268 .


- .. 1), .. 1), ..2), .. 1), .. 1), ..3) 1) , , 2) «», , 3) . .. , ,
P P P P P P P P P P P P P P P P P

- -1 ( = 0 ­ 80o) Ar+ 30
P P P P

1018 ­ 10
P P P

19
P

/2 ­ 180 400
P P P P P P

. (), () (). (T) , , Ar+ N2+,
P P B PB P

-1 N2+ . , B PB P

, , (,) , . -1. . , .


Cu CuPt Ar 1­80 . . , , - . () ­ , ­ 0,5 2, 20 , ­ «».
P P

, «» . CuPt Ar 1­80 . [1], Cu Pt . , Ni-Pd [2]. , , 5­14 at.% Cu, Cu2Pt3. 10­40 , . .
B B B B

1. Andersen H.H., Stenum B., Sorensen T., Whitlow H.J. //Nucl. Instr. and Meth. 1983. V.209/210. P.487 2. Shulga V.I. //Nucl. Instr. and Meth. in Phys. Res. B (in press)


.. , .. , .. , .. ( ), , SCATTER /1/ . , XZ (. .), Z . z(xi), xi = ix. . , () «» . , / .
B B B B

. , SCATTER.

. . , . 1. Kurnaev V.A., Trifonov N.N. // Physica Scripta, 2003, v. T103, p. 85.


, .. , .. , .. , .. , .. , .C. , . , - , . , , , , . , . , . , () . , - , . 65, 450 121810 , , . , , , , . . , . 600° - , . , . 121810 : 7 , .