Документ взят из кэша поисковой машины. Адрес оригинального документа : http://danp.sinp.msu.ru/Posobie_IBA/Introduction.pdf Дата изменения: Thu Jun 25 16:56:24 2009 Дата индексирования: Mon Oct 1 22:04:13 2012 Кодировка:

- (, IBA ­ Ion Beam Analysis), , , , 1908 . (Ernest Rutherford) - ~ 5 , ­ (. Ia). . , ­ . , , . , (, , , - ).

. I. 1908 . (1871­1937).

. 1. [47].

, . , , , / -. , , ­ ,


. . . ­ - . , , () , , . , . ( , , ­ ). , , , , , . . , , . () () , , , . . . (). . , -. . , , , , (, , ), , .. . "" . , ( ), , , , / . () , ( ) . (, ) ( 0) , , , -. / .


, , , . , , . . , , , . . .II , , , :

. II. , . , .

, . II. - (PIXE ­ Particle (proton) Induced X-Ray Emission) , . , , . , (10-20 N Cl 1-10 , Ca). :

.III. Pathfinder, PIXE . - , . .


.IV. PIXE . , . (~120 ) , . () . " " .

­ (RBS ­ Rutherford BackScattering) , , . , , , N . RBS PIXE . , . V.

. V. 2 , , , , , ~1015 ./2 Be, ~300 . - ~15 160. Au Ag 10 .


? , 160 . , . (), , , .. . 210=1024 . , .. . 2 / (. ). , , . , Au 150 1850 , ~ 1480 ! . , ( ), , . , , , , , .. , , , . . ~ 15 . . . . . , 3 : 28Si (92,27%), 29Si(4,68%) 30Si(3,05%). , Si "" . , , . , - , . , , Be . , , , , (, 200 ) . ( ~ 400 ) , . , . ~ 180 . , . RBS/Channeling (/ ­ ). ( ). . .


. VI. Allen Hill, . (RBS) 1,78 . 4 PIXE, Ca, Fe, Si S (. 2 5 . -). ~ 250250 .

­ (STIM ­ Scanning Transmission Ion Microscopy) , x , .

.VII. Oxford Microbeam Inc. . (0,1­1,0 ). , . ­ " ".

­ (NRA ­ Nuclear Reaction Analysis) , , -, - . , Mg ( ). ­ (ERDA - Elastic Recoil Detection Analysis) , , .


, . (.VIII.). - ( , ). ( ).

.VIII. , ERDA.

­ - (IBIC - Ion Beam Induced Current) , , . - . ( ­ - IEE ­ Ion Electron Emission). Channeling ­ , , . ( ), . PIXE, RBS STIM . Ion Microbeam Tomography ­ - , (3D) , , 3- . Ion Microbeam Microfabrication ­ - ( ~10 ) (~100 ) , .
. IX. , , () . .


. (IBA), , , ­ ( ­ LEIS ­ Low Energy Ion Scattering), ( ­ MEIS ­ Medium Energy Ion Scattering) ( ­ HEIS ­ High Energy Ion Scattering) RBS. . - (. . X). . , . , , - / .

. X. - . ­ , ­ , ­ . d0 ­ ( ), 1 2 ­ , r1 r2 - -.

() , , . LEIS- , . (HEIS) , ,


. . XI , , 3- . , , , , , .

. XI. .

LEIS , , . (TOF ­ Time Of Flight), . , . , , .XI (), , , . . , - ­ MEIS HEIS (RBS). , , , .. (, , ). .
(. )

LEIS MEIS HEIS (RBS)

0,1 ­ 10 10 ­ 200 0,5 - 10

1 1­2 10

2 10 ­ 100 1000

10 . , . ,


. . , . . . , . 7 8 - . 9 . .