Документ взят из кэша поисковой машины. Адрес
оригинального документа
: http://danp.sinp.msu.ru/EM-PDF/EM-Content.htm
Дата изменения: Thu Dec 8 16:30:26 2011 Дата индексирования: Mon Oct 1 20:56:36 2012 Кодировка: Windows-1251 |
СОДЕРЖАНИЕ
Предисловие ----------- ----------------------------------------- 7
Лекция 1. ----------- ------------------------------------------------ 9
Взаимодействие электронов с веществом.
Основные свойства электронов. Основные
процессы при взаимодействии электронов с веществом. Рассеяние электронов.
Характеристическое рентгеновское излучение. Тормозное рентгеновское излучение.
Генерация вторичных электронов. Медленные вторичные электроны. Быстрые вторичные
электроны. Оже-электроны. Генерация электронно-дырочных пар и
катодолюминесценция. Генерация плазмонов и фононов. Радиационные повреждения.
Лекция 2. ----------- ------------------------------------------------
Сканирующий и просвечивающий
электронные микроскопы. 21
Характеристики электронного пучка. Интенсивность
и яркость. Когерентность и энергетический разброс. Пространственная
когерентность и размер источника. Стабильность. Источники электронов
(электронные пушки). Источник с термоэлектронной эмиссией. Автоэмиссионные
источники (АЭП).
Лекция 3.
----------- ----------------------------------------------------- 27
Просвечивающий
электронный микроскоп (продолжение)
Линзы. Траектории электронов в магнитных
линзах. Апертуры и диафрагмы. Дефекты линз. Сферическая аберрация.
Хроматическая аберрация. Астигматизм. Разрешение. Разрешение, ограниченное
сферической аберрацией. Глубина фокуса и глубина поля.
Лекция 4. ----------- ------------------------------------------------ 34
Просвечивающий электронный микроскоп
(продолжение)
Регистрация электронов и изображения. Люминесцентный
экран. Детекторы электронов. Полупроводниковые детекторы. Детектор
'сцинтиллятор-фотоэлектронный умножитель'. ТВ и ССД
камеры. Энергетические
фильтры. Вакуумная система. Единицы измерения. Форвакуумный насос. Диффузионный насос.
Турбомолекулярный (ТМН) насос Электроразрядный (ионный) насос Общая схема вакуумной системы LEO912AB.
Держатели образцов (гониометры).
Лекция 5. ----------- ------------------------------------------------ 42
Практическая ПЭМ.
Диаграммы
лучей в параллельном и сходящемся пучке.
Трансляция и наклон пучка. Юстировка
ПЭМ. Формирование дифракционной картины и изображений. Дифракция и
микродифракция. Светлопольное и темнопольное изображение. Калибровка. Центрованное темнопольное изображение. Дифракция в сканирующем ПЭМ. Светлопольное изображение в СПЭМ.
Темнопольное изображение в СПЭМ.
Дополнение 5.1. ----------- ------------------------------------------------ 50
Действия при юстировке ПЭМ LEO912AB
OMEGA.
Лекция 6. Дифракция в кинематическом
приближении. :::. 55
Условие Брэгга. Обратная решетка. Индексы
Миллера-Вейса. Сфера Эвальда. Вектор отклонения. Амплитуда рассеяния и
структурный фактор рассеяния. Разрешенные и запрещенные рефлексы.
Индексирование рефлексов. Дифракция от суперрешеток. Размерные эффекты в
дифракции.
Дополнение 6.1. ----------- ------------------------------------------------ 66
Таблица Д6.1.
Некоторые правила отбора для дифракции в распространенных структурах.
Дополнение 6.2. ----------- ------------------------------------------------ 67
Схемы дифракционных рефлексов для типичных
кристаллов и ориентаций пучка электронов.
Лекция 7. ----------- --------------------------------------------- 70
Элементы
динамической теории дифракции.
Экстинкция.
Колонковое приближение. Уравнения Хови-Уэлана. Решение уравнений Хови-Уэлана.
Интенсивность прямого и дифрагированного пучков.
Эффективный вектор отклонения. Лауэ-зоны. Двойная дифракция. Дифракция в
многофазных системах.
Лекция 8. ----------- ---------------------------------------------
78
Кикучи-дифракция. --------------------------------------------- 78
Дифракция в сходящемся пучке. ------------------------------------ 80
Лекция 9. ----------- ---------------------------------------------- 83
Изображение и контраст в ПЭМ.
Контраст
плотности и толщины. Z-контраст. Дифракционный
контраст, двухпучковая геометрия. Дифракционный контраст в СПЭМ. Эффекты
толщины и изгиба.
Лекция 10. ----------- --------------------------------------------- 91
Изображение плоских дефектов.
Трансляционный
контраст. Матрица рассеяния. Дефекты упаковки в гцк материалах. π- и
δ- контуры. Границы фаз. Поля упругих напряжений. Контраст
от одиночной дислокации. Дислокационные петли и диполи. Изображение
в моде слабый-пучок темное-поле (WBDF).
Лекция 11. ----------- --------------------------------------------- 103
Фазовый контраст.
ПЭМ высокого разрешения (ВРПЭМ или HRTEM).
Контраст кристаллической решетки. Элементы теории изображения. Функция
передачи. Некоторые особенности ВРПЭМ в LEO912AB.
Контраст муара (moiré patterns).
Трансляционный и ротационный муар. Примеры использования контраста муара.
Френелевский контраст. Контраст стенок доменов. Лоренцевская просвечивающая
электронная микроскопия (ЛПЭМ). Френелевский контраст от пор, газовых пузырей.
Лекция 12. ----------- --------------------------------------------- 115
Спектрометрия в СЭМ
и ПЭМ.
Рентгеновская спектрометрия. Спектрометры рентгеновского излучения.
Полупроводниковые детекторы рентгеновского излучения. Электроника
ППД-спектрометра. Артефакты XEDS. Фон в XEDS-ПЭМ.
Количественный анализ в XEDS. Пространственное
разрешение в XEDS. Спектрометрия потерь энергии электронов. Фокусировка
спектрометра. Пик нулевых потерь. Малые потери энергии. Область больших потерь.
Лекция 13. ----------- --------------------------------------------- 130
Как приготовить образец для
СЭМ и ПЭМ?
Подготовка поверхности для
СЭМ.
Образцы для ПЭМ. Сетки, шайбы и мембраны.
Подготовка самоподдерживающихся образцов. Электрополировка. Ионное травление.
Образцы в поперечном сечении (cross-section
samples). Несамоподдерживающиеся образцы.
Ультрамикротомия. Диспергирование. Метод реплик и экстракции. Скалывание.
90º-ный клин. Литография. Селективное химическое травление. Техника
безопасности.
Список
использованных источников для иллюстраций.
----------- 141
Список цитированной литературы. -------------------------- 143