Документ взят из кэша поисковой машины. Адрес оригинального документа : http://danp.sinp.msu.ru/2_utro.pdf
Дата изменения: Thu Apr 29 16:55:24 2004
Дата индексирования: Mon Oct 1 20:23:59 2012
Кодировка:

.. - , , , . (). (). , . . , 2.7 Si. /1/, in situ Si , , , , . /1/ , . , , , . , . . , , , . - , . . , , « », .
1. Donnelly S.E., Bitcher R.C., Vishnyakov V.M., Carter G.//Appl. Phys. Let. 2003.V.82. P.1860

- .. , .. , .. , .. - - .. , . , , , . (). /1-2/ Si , . , () Si , , . - , /2/. 2в2в2 3. , TRIM. «», (10% Si). "" , . «» «» , , ( /a-Si). g = 2,0055 ( ) , 750 ( Si) 2-5 , , , /a-Si. . " " ( 205).

1. 2.

.., .. . // . 1998. 5. .34. .., .. . // . . . 2000. .64. 11. .2168. 3. Tetelbaum D.I., Ezhevskii A.A. et al. // Mat. Sci. Eng. B. 2003. V.101. No.1-3. P.279.

.. - , /1/ Si Bi 0.5 . , , .. , . (). h . SiO2. 5 . , 4 experiment h , model h 3 Ld = 9 nm . 2 , 1 Si 0 /2/. 0 4 8 12 16 20 12 -2 , dose, 10 cm Si-SiO2 , , . , , , , . , , . 1. Titov A.I., Kucheyev S.O., Belyakov V.S., Azarov A.Yu. // J. Appl. Phys. 2001. v. 90, p. 3867. 2. . ., . ., .. // , 2003. . 37, . 358.

h, nm

.., .. - , - , GaAs, Ne+ Ar+ 4-8 () 3000 . , . ( , , ) () , . /1/ , .

,

200

GaAs (1 1 1)
150 100

GaAs.
+

Ne , 8 ,
50 0

. ,
120

0

20

40

, 1 0

60

13

80

-2

100

,

. ;

Ne+ 8 . ,

. , GaAs /2/. , 5 . 1. .., .., .. // , 2003. .37, .358. 2. Brown R.A., Williams J.S. // Phys. Rev. B. 1997. V.55. P. 12852.

- ..1), ..1), ..1), .. , , .., . ,
2) 1) 2)

.

- POCO-AXF-5Q ( = 0 80) Ar+ 30 , (10
18

10

19

-2). ,

~ 400oC. (T) ( , ), . (T) () Ta = 150-200oC, .. , . ( > 30) , Tp = 100oC. (50 ) , , Ta () . - [1], ,

-

, () . , , . 1. Parilis E.S. et al. Atomic Collisions on Solid Surface. Chap.11. - Elsevier, North-Holland, 1993.

- .., .., .., .., .., .. , , - N2+ 30 -8 [1] , , : T<50OC (RT), 50300OC (HT). , , -8 15 400. , R- - . - , . R ( 20 .%), - . > 300, ()-. -8. , , ,
14

N ( K- SI3N4),

() . - , , . . 1. Borisov A.M., Mashkova E.S., Nemov A.S. // Vacuum. 2004. V.73/1, P.65.

: .. , .. , .. , .. , .. . .. , . [1]. (001) Ni <110>. Fo (cos o , Eo ) = cos o / E2 : o
Fe (cos e , Ee ) =
Ee cos e ( k - S)( kS - 1)k 2 (1 - S 2 ) {1 + } ( Ee + E b )3 S(1 + k 2 - 2kS) 3

kS 1 > 0;

(1)

( Fe (cos e , Ee ) = 0 kS 1 < 0 ), S :
(Ee cos2 e S = cosi = ( Ee + E + Eb )1/ 2
12 / b)

;

(2)

k l D . [2, 3] , , (~5.50 ), , . , (p) (f) . f- ( cose = const) : Eef = Eep { 1 + 2 (1 + Eep / Ebp) / ( kp2 1) + }. (3)

pf , : Df = Dp(1 ), Ebf = Ebp(1 + ), 0,05. kp = l / Dp. pf . 1. Korsakova O.S., Samoilov V.N. et al. // Proc. 7th European Conf. on Applications of Surface and Interface Analysis. Goteborg, Sweden, 16-20 June 1997. P. 860-863. 2. .. . // . I . . . , 28-30 2001. . 84. .. . // . II . . . , 27-29 2002. . 107.

N- (N=1В55) .. , .. , .. - , , . Cu Ni (111) Cu Ni
N N

(1N55). /1,2/

, /3В5/. . , , ( E/N=500 /), , , . , , - " ". . 1. Zhurkin E.E., Kolesnikov A.S.//Nucl. Instrum. and Meth. in Phys. Res.B. 2002 V.B193(1-4), p. 822. 2. Zhurkin E.E., Kolesnikov A.S.//Nucl. Instrum. and Meth. in Phys. Res.B, 2003, V.B202, p. 296 3. Cleri F., Rosato V.//Phys.Rev.B. 1993. V.48, N 1, p. 22. 4. Gao F., Bacon D., Ackland G.// Phil. Mag. 1993 V. A67, 2. p. 275. 5. Hou M., Pan Z.-Y.//Nucl. Instrum. and Meth. in Phys. Res. B, 1995, V.102, p. 93.

- .. , . , . , , -, (100) (110) (W,Mo,Si,Ag,Cu ) (Ar+He+, Rb+, Na+) 5- 15 . - . , - , , , , , . , .., , - . , , , , , - . , , , () . , , (O, S, Zn, Fe .), . , , , . , - , -. - - .

.., .. - . .. , , , , . , . , , , . , , . - 3-4 , ; - , ( , ). , , . /1 3/. /1/ . , . /4/ . , . /2/, , /3/, . , /1/ . 1. .., .., .. // : V . , : . 2003.-. 270-271. 2. .., .., .., .. // : 16- .: «». 2003. .2, -. 310-313. .., .. // : 2 - .: «» - . .. . 2003.

3.

N+ .. , .. , .. , , N+ c Eo=300 , , . - TRIM, MCIT (Monte Carlo for Ion Transport) /1/. , . .
0,8 0,6 1 2

Emax o /E

0,4 0,2 0,0 2 4

, .

6

8

10

12

.1 N+ Eo= 300 2o. 1,2 - MCIT TRIM , + - /2/ .1 Emax, N+, 2 . MCIT Emax . TRIM, , Emax . 1. .., .., . . // , 2003, N9, .47. 2. .., .. // XVI . ., -2003 , . .- , 2003, .303.

BE W (He+ + Ar+) 10 .. , .. , .. , .. - , , , ( , ). () 0,1 - 20 . Sp Be W, , (C, Fe, Mo) He
+

+ Ar+. ,

1-17 . 100 A/2 , 50-100 500-550 C, (7-15)в10 (1-5)в10
18 -7

a,

/2.

. Sp ± 30% H+ + Ar+ , Ar+ ( ). Sp , Be W , + 70 - 90 %. 50-100 500-550

C Sp = CHeSp(Me-He) + CArSp(Me-Ar), - ( W).

. , He, Ar .