Документ взят из кэша поисковой машины. Адрес оригинального документа : http://aspirant.phys.msu.ru/special_courses/autumn/Rakhimov.doc Дата изменения: Mon Sep 7 16:43:44 2015 Дата индексирования: Sun Apr 10 00:06:40 2016 Кодировка: koi8-r

Кафедра атомной физики, физики плазмы и микроэлектроники

Профессор А.Т.Рахимов. " Плазменные процессы в микротехнологии"

Целью читаемого спецкурса является ознакомление аспирантов с
технологическими плазменными процессами, используемыми в современной
микротехнологии.

В рамках курса аспирантам рассказывается о современных источниках
низкотемпературной плазмы, о неравновесных процессах, протекающих в объеме
плазмы. Также рассказывается о плазменных и химических процессах,
определяющих характер формирования поверхностных структур, в частности
рассказывается о плазменном травлении и о физических проблемах литографии с
использованием плазменных источников. Большое внимание уделяется
физическим проблемам создания новых материалов, перспективных для развития
элементной базы микроэлектроники.