Документ взят из кэша поисковой машины. Адрес оригинального документа : http://chem.msu.ru/rus/events/innov-project-ex-2009/55.pdf Дата изменения: Wed Nov 18 12:32:19 2009 Дата индексирования: Sun Apr 10 17:33:08 2016 Кодировка:

ZNO .. .. - . , , . , , , . , , . , . Zn III (, Al) V (, Sb). , (CVD PVD) , , . , (a) , , -; () ( 300°), . ZnO . , ; . , ZnO , . (Aldrich) 0.25 , , 1; 2 .% Al 1; 3 .% Sb. () 1 (0.15 ), 3 (0.45 ), 30 (4.5 ) 60 . %. (9 ).


140, 180 220° 3, 6 24 . . , . , 30% . , . , . , , . ( ) , . - () ZnO 30% = 180° 1 3 . () , , , , , 3 ­ 500-700 , ~50 . 1 . (T = 180°C, t = 6 ), , . , 1 , 200-600 , 2 , , . , , . . , .


, , . (1 2% Al) , (2.4% Al). (1% Sb) , (1.4%), ­ (3%). - Zn1%Al, Zn2%Al, Zn1%Sb, Zn3%Sb. () Zn1%Al Zn2%Al 30% ( = 180°, t = 6 ) , . , Zn1%Al . Zn2%Al . . , Zn1%Sb Zn3%Sb 30% ( = 180°, t = 6 ) , - . .