... Группа сканирующей электронной микроскопии . ... Электроны пучка взаимодействуют с материалом образца и генерируют различные типы сигналов, которые несут в себе информацию об образце. ... Выход вторичных электронов также зависит от угла падения электронного пучка на поверхность образца. ... Сигнал от BSE несет информацию о составе образца (поскольку выход BSE связан с локальным средним атомным номером вещества) и о рельефе его поверхности - в зависимости от параметров работы детектора BSE сигнала. ...