... Внутрикамерная диагностика методом рентгеновской рефлектометрии параметров наноразмерных пленок напыляемых магнетронным методом в режиме осаждения кластеров. ... Методом лазерно-плазменного осаждения получены серии образцов тонких пленок оксида цинка ZnO : N и ZnO : P . ... В докладе представлены результаты выполненных на магнитоплазмодинамическом ускорителе НИИЯФ МГУ исследований повреждения поверхности и потерь массы пленок каптона и под действием потока атомов кислорода с энергиями 20-80 эВ. ...