Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometr xyz-table control . ... Исследование электронных свойств протяженных дефектов в полупроводниках и реакции этих дефектов с точечными дефектами и примесями. ... Процессы нелинейной диффузии и эффекты самоорганизации в системах дефектов и примесей. Гетеросистемы на основе суперионных и электронных проводников. ...