Поинтересовался на НПЗ точностью изготовления зеркал для ТАЛ150П8. Мне ответили http://www.npzoptics.com/forums/index.php?showtopic=76&st=15.
Только я не понял, это хорошо или плохо. Мне почему-то кажется, что более менее нормально.

Почему значение среднеквадратической ошибки формы поверхности ровно в 4 раза меньше среднеквадратического отклонения волнового фронта, измеренного по автоколлимационной схеме?

Что за N в точности диагонального зеркала?

Точность диагонального зеркала N=0.5, дельта N=0.2.

Это означает: общая и местная ошибка. Если попытаться перевести в мм, то у Вас имеется зеркало со стрелкой 0.0002 мм. Скажу честно, качество так себе. За бугор делаем 0.1 и 0.05 соответсвенно. Для примера скажу по ГОСТ отклонение общей формы поверхности для пробного стекла не должно быть более 0.07 полосы. Все что больше уже идет по второму и так далее классу.

Т.е. N=0.5 и 0.2 это отклонение зеркала от плоскости в длинах волн общее и максимальное локальное? Или я чего опять не так понял. Если так, то какая длина волны предполагается?

Плоскость со стрелкой 200 нм конечно не экстра класс, но вроде существенно лучше китайской, про которую Вы упоминали здесь http://www.starlab.ru/forum/viewtopic.php?t=4276&postdays=0&postorder=asc&start=100.

Т.е. N=0.5 и 0.2 это отклонение зеркала от плоскости в длинах волн общее и максимальное локальное? Это технологические допуски на отклонение от плоскости. То есть в норме на 95% конкретных деталей будет меньше, а может мастер ОТК проспать и пропустит деталь с большим отклонением.

N - отклонение контроллируемой детали от контрольной (эталонной) плоскости измеренное в числе колец Ньютона. 1 кольцо соответсвует регулярному отклонению (то есть без потери формы - чистая сфера) контроллируемой поверхности от заданного радиуса (в нашем случае плоскости) примерно на пол длины волны на краю поверхности. Для наклонных под 45 градусов зеркал это приведет к появлению 0.7 волны астигматизма, если апертурный пучок полностью заполняет диагоналку. Однако обычно осевой пучок несколько меньше и можно считать, что 1 кольцо на зеркале приведет к астигматизму 1/2 дл. волны. Если НПЗ ставит N=0.5, то допускает 1/4 дл.в. источник астигматизма на оси.

дN - собственно астигматизм поверхности контроллируемой детали проверяемой по контрольной плоскости, то есть разность кривизн поверхности в двух взаимоперпендикулярных сечениях. Единичное отклонение и тут будет равно примерно полуволновому размаху астигматической ошибки (от мин. до мах). Для наклонного 45 градусов зеркала (с учетом его заполнения осевым пучком на 3/4) даст астигматический дефект волнового фронта с полным размахом примерно в 1 дл. в. Если НПЗ ставит дN=0.2, то допускает еще один источник астигматическо ошибки с амплитудой примерно в 1/5 дл.в.

Признаться, требования слабоватые, следовало бы ужесточить примерно вдвое.