Руководитель работ д.т.н. Волков А. В.

Тип контролируемых подложек - стеклянные фотографические пластины ВРП-50, подложки типа СТ-50, "Поликор" и ряд других.

Основные характеристики:
 контроль органических загрязнений в диапазоне 1 - 10 гр/см;
 контроль шероховатости в диапазоне 5-200 nm;
 толщина контролируемых подложек 0,5-3,0 мм;
 жидкость - дистиллированная вода;
 длительность операции контроля состояния поверхности подложек - не более 2 мин;
 напряжение питания - 220 В;
 габаритные размеры - 320x200х95 мм;
 вес - 4 кг.

Установка включает:
 видеокамеру VS-FAST/CG6;
 дозатор жидкости;
 систему освещения образца;
 персональный компьютер специальной конфигурации.

Получен патент на полезную модель ? 54677.


Зависимость времени растекания жидкости от степени чистоты и шероховатости поверхности


Устройство экспресс-контроля качества поверхности подложек

Учебно-научный центр микроэлектроники: корпус 1, ауд. 104, тел (846) 332-56-21, e-mail:volkov@ssau.ru