Способ измерения чистоты поверхности подложек
Год: 2008 г.,
Авторы: Сойфер В.А., Подлипнов В.В., Колпаков В.А., Колпаков А.И., Казанский Н.Л.,
Подразделение:
? патента: 2380684,
Приоритет заявки: 2008-10-16,
Дата публикации: 2010-01-27
Бюл. ? 3 Постановка на баланс: нет
Авторы: Сойфер В.А., Подлипнов В.В., Колпаков В.А., Колпаков А.И., Казанский Н.Л.,
Подразделение:
? патента: 2380684,
Приоритет заявки: 2008-10-16,
Дата публикации: 2010-01-27
Бюл. ? 3 Постановка на баланс: нет