Методики лаборатории
РФС
Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (РФС) дает информацию о химическом и элементном составе материалов. Образец подвергается
ренгеновскому излучению, что приводит к эмиссии фотоэлектронов с поверхности. Кинетическая энергия фотоэлектронов определяется электронной
структурой элемента. Энергия связи фотоэлектронов связана с остальными параметрами следующим образом:
Ebinding=hn - (Ekinetic+j)
где
hn - энергия рентгеновского излучения,
Ebinding - кинетическая энергия вылетевшего фотоэлектрона,
d
j - величина, определяемая характеристиками спектрометра и свойствами материала. Таким образом, величина
энергии связи и количество электронов с данной энергией (позиция и интенсивность пика на РФС спектре) позволяют идентифицировать химический
элемент, определить его химическое состояние и количество.
Одной из модификаций метода является Оже-электронная спектроскопия (AES), которая основана на поглощении фотоэлектрона электронной структурой
элемента, перераспределении в ней электронов и эмиссии так называемых Оже-электронов с верхних уровней. Поскольку последние электроны в основном
присутствуют на поверхности образца, данный метод широко используется для поверхностных исследований. Оже-спектроскопия позволяет определить все
поверхностные элементы тяжелее гелия.
Электронный спектрометр Kratos AXIS Ultra DLD предназначен для исследования поверхности в ультравысоком вакууме и позволяет получить следующую
информацию:
- Элементный качественный и количественный состав поверхности.
- Химическое состояние элементов на поверхности
- Распределение элементов по поверхности
- Электронная структура валентной зоны
- Атомная структура поверхности монокристаллов
Основные характеристики прибора:
- Элементная чувствительность: 0.1 ат. %
- Допустимая область для РФС анализа: от 15?15 мкм2 до 300?700 мкм2
- Глубина проникновения - до 3 нм
- Пространственное разрешение при построении карты распределения элементов по поверхности для метода РФС: 5 мкм
- Пространственное разрешение при построении карты распределения элементов по поверхности для метода Оже-спектроскопии: 100 нм
- Возможность компенсации поверхностного заряда при проведении исследования поверхности высокоомных образцов
- Возможность очистки поверхности методом травления поверхности ионами аргона
- Температурный режим исследований: -100oC - +600oC
... наверх