Методики лаборатории
РФС
Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (РФС) дает информацию о химическом и элементном составе материалов. Образец подвергается  
ренгеновскому излучению, что приводит к эмиссии фотоэлектронов с поверхности. Кинетическая энергия фотоэлектронов определяется электронной
 структурой элемента. Энергия связи фотоэлектронов связана с остальными параметрами следующим образом:
Ebinding=hn - (Ekinetic+j)
где 
hn - энергия рентгеновского излучения, 
Ebinding - кинетическая энергия вылетевшего фотоэлектрона,
 d 
j - величина, определяемая характеристиками спектрометра и свойствами материала. Таким образом, величина 
энергии связи и количество электронов с данной энергией (позиция и интенсивность пика на РФС спектре) позволяют идентифицировать химический 
элемент, определить его химическое состояние и количество.
Одной из модификаций метода является Оже-электронная спектроскопия (AES), которая основана на поглощении фотоэлектрона электронной структурой
 элемента, перераспределении в ней электронов и эмиссии так называемых Оже-электронов с верхних уровней. Поскольку последние электроны в основном
 присутствуют на поверхности образца, данный метод широко используется для поверхностных исследований. Оже-спектроскопия позволяет определить все
 поверхностные элементы тяжелее гелия.
Электронный спектрометр Kratos AXIS Ultra DLD предназначен для исследования поверхности в ультравысоком вакууме и позволяет получить следующую
 информацию:
- Элементный качественный и количественный состав поверхности.
 
- Химическое состояние элементов на поверхности
 
- Распределение элементов по поверхности
 
- Электронная структура валентной зоны
 
- Атомная структура поверхности монокристаллов
 
Основные характеристики прибора:
- Элементная чувствительность: 0.1 ат. %
 
- Допустимая область для РФС анализа: от 15?15 мкм2 до 300?700 мкм2
 
- Глубина проникновения - до 3 нм
 
- Пространственное разрешение при построении карты распределения элементов по поверхности для метода РФС: 5 мкм
 
- Пространственное разрешение при построении карты распределения элементов по поверхности для метода Оже-спектроскопии: 100 нм
 
- Возможность компенсации поверхностного заряда при проведении исследования поверхности высокоомных образцов
 
- Возможность очистки поверхности методом травления поверхности ионами аргона
 
- Температурный режим исследований: -100oC - +600oC
 
 
    ... наверх