Документ взят из кэша поисковой машины. Адрес
оригинального документа
: http://www.cplire.ru/nano/equipment.html
Дата изменения: Mon Mar 21 07:32:48 2016
Дата индексирования: Sat Apr 9 23:43:14 2016
Кодировка:
Поисковые слова: ппп
Установка SMI3050 FIB производства компании SII
NanoTechnology Inc. для травления с помощью сфокусированного ионного
пучка с разрешением до 4 нм.