Публикации сотрудников лаборатории:
2016
Статьи
в журналах
1.
Иешкин А.Е.,
Шемухин А.А.,
Ермаков Ю.А.,
Черныш В.С.
(2016)
Влияние состава пучка
кластерных ионов на дефектообразование в мишени //
Вестник Московского
университета. Серия 3. Физика, астрономия, том 1.
2.
Королев Д.С.,
Михайлов А.Н.,
Белов А.И.,
Васильев В.К.,
Гусейнов Д.В.,
Окулич Е.В.,
Шемухин А.А.,
Пирогов А.В., Павлов Д.А.,
Тетельбаум Д.И.,
Суродин С.И.,
Николичев Д.Е.,
Нежданов А.В.
(2016)
Послойный состав и структура
кремния, подвергнутого совместной ионной имплантации галлия и азота для ионного
синтеза GaN //
Физика и техника
полупроводников, том 50, № 2, с. 274-278.
2015
Статьи
в журналах
1.
A.E.Ieshkin, Yu.A. Ermakov,
Chernysh V.S. Angular
distributions of particles sputtered from multicomponent targets with gas
cluster ions
//
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research
B,
2015. V. 354, P. 226-229.
2. A.A. Shemukhin,
A.V. Nazarov, Yu. V. Balakshin, V.S. Chernysh. Defect formation and
recrystallization in the silicon on sapphire films under Si+
irradiation //
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research
B,
2015. V. 354, P. 274-276.
3.
V.S. Chernysh,
A.E. Ieshkin, Yu.A. Ermakov. The new mechanism of sputtering
with cluster ion beams // Applied Surface Science, V. 326
(2015) P. 285-288.
4.
Ieshkin A.,
Ermakov Y.,
Chernysh V.,
Ivanov I.E.,
Kryukov I.A.,
Alekseev K.,
Kargin N.,
Insepov Z.
Computer simulation and visualization of supersonic jet for
Gas cluster equipment
//
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section
A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated
Equipment,
2015, изд-во
Elsevier BV
(Netherlands),
V.795,
P. 395-398.
5.
Ieshkin A.E.,
Ermakov Yu A.,
Chernysh V.S.
Gas
Cluster Ion Formation Under Pulsed Supply of Various Working
Gases. //
Technical Physics Letters,
V. 41, № 11, P. 1072-1074.
6.
Иешкин А.Е.,
Ермаков
Ю.А.,
Черныш В.С.
Формирование кластерных ионов различных газов в режиме
импульсной подачи газа. //
Письма
в "Журнал технической физики", изд-во
Наука. С.-Петерб.
отд-ние (СПб.), том 41, № 22, с. 8-14.
7.
Andrianova N.N.,
Borisov A.M.,
Mashkova E.S.,
Shemukhin A.A.,
Shulga V.I.,
Virgiliev Yu S.
Relief evolution of HOPG under high-fluence 30 keV argon ion
irradiation.
//
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section
B: Beam Interactions with Materials and Atoms,
изд-во
Elsevier BV
(Netherlands),
V. 354,
P. 146-150.
8.
Привезенцев В.В.,
Куликаускас В.С.,
Шемухин
А.А., Трифонов А.Ю., Кириленко Е.П., Батраков А.А.
Визуализация
и идентификация наночастиц в Si, последовательно
имплантированном ионами 64Zn+ И 16O+ //
Известия
РАН. Серия физическая, 2015, том 79, № 11,
с. 1506-1513.
9.
Ломов А.А.,
Мяконьких
А.В.,
Орешко А.П.,
Шемухин
А.А.,
Назаров
А.В.
Исследование Si (001) подложек, подвергнутых
плазменно-иммерсионно ионной имплантации He+ методом
рентгеновской рефлектометрии.
//
Современные методы анализа дифракционных данных и актуальные
проблемы рентгеновской оптики, место издания
Великий Новгород, 2015, с. 135-138.
2014
Статьи
в журналах
1.
А.
А. Шемухин, А. В. Назаров, Ю. В. Балакшин, В. С. Черныш. Влияние
параметров ионного облучения на образование дефектов в пленках кремния // Поверхность.
Рентгеновские, синхротронные и нейтронные
исследования, 2014,
№ 3, с. 56-58.
2.
Petukhov V.P.,
Kulikauskas
V.S.,
Novikov L.S.,
Petrov D.V.,
Smirnova T.N.,
Chernik V.N.,
Shemukhin A.A.,
Shumov A.E.
Nuclear-physical analysis of the contamination on the surface of a COMPLAST
panel after 12-year exposure at the ISS
//
Surface
Investigation X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques,
издательство
Gordon and
Breach Science Publishers
(Switzerland),
2014,
том 8,
№ 3,
с. 440-443.
3.
Петухов В.П.,
Куликаускас В.С.,
Новиков Л.С.,
Петров Д.В.,
Смирнова Т.Н.,
Черник В.Н.,
Шемухин А.А.,
Шумов А.Е.
ИССЛЕДОВАНИЕ
ЯДЕРНО-ФИЗИЧЕСКИМИ МЕТОДАМИ ЗАГРЯЗНЕНИЙ ПОВЕРХНОСТИ ПАНЕЛИ 'КОМПЛАСТ' ПОСЛЕ 12
ЛЕТНЕЙ ЭКПОЗИЦИИ НА МКС // Поверхность.
Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 2014,
№ 5, с. 35-38.
4.
Privezentsev
V.V.,
Kulikauskas
V.S.,
Zatekin V.V.,
Petrov D.V.,
Makunin A.V.,
Shemukhin
A.A.,
Lutzau A.V.,
Putrik A.V.
Study of
silicon implanted with zinc and oxygen ions via Rutherford backscattering
spectroscopy //
Surface
Investigation X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques,
издательство
Gordon and
Breach Science Publishers
(Switzerland),
2014,
том 8,
№ 4,
с. 794-800.
5.
Привезенцев В.В.,
Куликаускас В.С.,
Затекин В.В.,
Петров Д.В.,
Макунин А.В.,
Шемухин А.А.,
Лютцау А.В.,
Путрик А.В.
ИССЛЕДОВАНИЕ КРЕМНИЯ
ИМПЛАНТИРОВАННОГО ИОНАМИ ЦИНКА И КИСЛОРОДА, МЕТОДОМ СПЕКТРОСКОПИИ РЕЗЕРФОРДОВСКОГО ОБРАТНОГО РАССЕЯНИЯ //
Поверхность.
Рентгеновские,
синхротронные и
нейтронные исследования,
2014, № 8,
с. 65.
6.
Shemukhin
A.A.,
Balakshin
Y.V.,
Chernysh
V.S.,
Golubkov
S.A.,
Egorov
N.N.,
Sidorov
A.I.
Defect
formation and recrystallization mechanisms in silicon-on-sapphire films under
ion irradiation
//
Semiconductors,
издательство
Izdatel'stva Nauka
(Russian Federation),
том 48,
№ 4,
с. 517-520
(2014).
7.
Shemukhin
A.A.,
Nazarov
A.V.,
Balakshin
Y.V.,
Chernysh
V.S.
Influence
of ion-irradiation parameters on defect formation in silicon films
//
Surface
Investigation X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques,
издательство
Gordon
and Breach Science Publishers
(Switzerland),
том 8,
№ 2,
с. 251-253
(2014).
8.
Shemukhin
A.A.,
Muratova
E.N.
Investigation of transmission of 1.7-MeV He+ beams through porous alumina
membranes
//
Technical
Physics Letters,
издательство
Maik
Nauka/Interperiodica Publishing
(Russian Federation),
том 40,
№ 3,
с. 219-221
(2014).
9.
Privezentsev V.V.,
Shemukhin
A.A.,
Petrov
D.V.,
Trifonov
A.Y.,
Saraykin
V.V.,
Lutzau
A.V.
ZnO
nanoparticle formation in Si by Co-implantation of Zn and O+ lons
//
Diffusion
and Defect Data Pt.B: Solid State Phenomena,
том 205,
с. 502-508
(2014).
10.
Медведева С.С.,
Коива Д.А.,
Шемухин А.А.,
Черных П.Н.
Исследование изменения
параметров тонкопленочных структур в процессе ионной имплантации
//
Вестник Балтийского
федерального университета им. И. Канта, № 4, с. 7-13
(2014).
11.
Шемухин А.А.,
Муратова Е.Н.,
Мошников В.А.,
Лучинин В.В.,
Черныш В.С.
Исследование мембран
пористого оксида алюминия с помошью методики резерфордовского обратного
рассеивания //
Вакуумная техника и
технология, том 24, № 1, с. 43-47 (2014).
12.
Шемухин А.А.,
Муратова Е.Н.
Исследование
прохождения пучков 1,7 МэВ He+ через мембраны пористого оксида алюминия
//
Письма в "Журнал
экспериментальной и теоретической физики", том 40, № 5,
с. 67-74 (2014).
13.
Шемухин А.А.,
Балакшин Ю.В.,
Черныш В.С.,
Голубков С.А.,
Егоров Н.Н.,
Сидоров А.И.
Механизмы
дефектообразования и рекристаллизации в пленках кремния на сапфире при ионном
облучении //
Физика и техника
полупроводников, том 48, № 4, с. 535-538 (2014).
2013
Статьи
в журналах
1. Andreev
A.A.,
Chernysh
V.S.,
Ermakov
Yu A.,
Ieshkin
A.E.
Design and investigation of gas
cluster ion accelerator
// Vacuum,
2013, V. 91, P. 47-53 (2013).
2.
Muratova E.N.,
Spivak Yu M.,
Moshnikov V.A.,
Petrov D.V.,
Shemukhin A.A.,
Shimanova V.V.
Influence of
technological parameters of nanoporous Al2O3 Layers' preparation on their
structural characteristics
//
Glass Physics and
Chemistry,
издательство
Maik Nauka/Interperiodica
Publishing
(Russian Federation),
том 39,
№ 3,
с. 320-328
(2013).
3.
Shemukhin A.A.,
Chernykh P.N.,
Chernysh V.S.,
Balakshin Y.V.,
Nazarov A.V.
Ion-beam methods
of the accelerator complex HVEE-500 SINP MSU
//
Applied Physics,
№ 5,
с. 59-62
(2013).
4.
Shemukhin A.A.,
Balakshin Yu V.,
Chernykh P.N.,
Chernysh V.S.
Medium energy ion
scattering spectroscopy: Study of germanium amorphization under ion irradiation
//
Journal of
Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques,
том 7,
с. 318-321
(2013).
5.
Соколова Е.Н.,
Спивак Ю.М.,
Мошников В.А.,
Петров Д.В.,
Шемухин А.А.,
Шиманова В.В.
2013
Влияние технологических
параметров получения слоев нанопористого Al2O3 на их структурные характеристики
// Физика
и химия стекла, том 39 (2013),
c.
6.
Шемухин А.А.,
Черных П.Н.,
Черныш В.С.,
Балакшин Ю.В.,
Назаров А.В.
Ионно-пучковые методики
ускорительного комплекса HVEE-500 НИИЯФ МГУ //
Прикладная физика,
№ 5, с. 59-62 (2013).
7.
Лучинин В.В.,
Муратова Е.Н.,
Шемухин А.А.
Матрицы из пористого оксида
алюминия как капиллярные матрицы-шаблоны для локализации воздействия ионов
высоких энергий //
Нано и микросистемная техника,
№ 12, с. 39-41
(2013).
8.
Шемухин А.А.,
Балакшин Ю.В.,
Черных П.Н.,
Черныш В.С.
Спектроскопия рассеяния ионов
средних энергий: изучение аморфизации германия под действием ионного облучения
//
Поверхность. Рентгеновские,
синхротронные и нейтронные исследования, № 4, с. 25-28
(2013).
2012
Статьи
в журналах
1. Ieshkin A.E., Ermakov
Yu.A.,,
Andreev
A.A.,
Chernysh V.S.
Gas Cluster Ion Beam Accelerator:
First Results
//
Book of Abstracts of 25th
International Conference on Atomic Collisions in Solids (ICACS 25),
2012, Kyoto, Japan, P. 145.
2.
Shemukhin A.A.,
Balakshin Yu V.,
Chernysh V.S.,
Patrakeev A.S.,
Golubkov S.A.,
Egorov N.N.,
Sidorov A.I.,
Malyukov B.A.,
Statsenko V.N.,
Chumak V.D.
Fabrication of
ultrafine silicon layers on sapphire //
Technical Physics
Letters,
издательство
Maik Nauka/Interperiodica
Publishing
(Russian Federation),
том 38,
№ 10,
с. 907-909
(2012).
3.
Шемухин А.А.,
Балакшин Ю.В.,
Черныш В.С.,
Патракеев А.С.,
Голубков С.А.,
Егоров Н.Н.,
Сидоров А.И.,
Малюков Б.А.,
Стаценко В.Н.,
Чумак В.Д.
Формирование ультратонких
слоев кремния на сапфире //
Письма в журнал технической
физики, том 38, № 19, с. 83-89 (2012).
2011
Статьи
в журналах
-
Chernysh V.S., Patrakeev A.S. Angular distribution of atoms
sputtered from alloys. // Nuclear Instruments and
Methods in Physics ResearchB270, 2012, p.p.
50-54.
см.
- Андреев А.А., Ермаков Ю.А., Иешкин А.Е., Патракеев
А.С., Черныш В.С. Ускоритель газовых кластерных ионов // Нанотехнологии.
Разработка, применение. 2011, т.3, №2, c. 3-11.
-
Novikov
N.V.,
Teplova
Ya A.,
Chernysh
V.S.
Cross serction for the
single-electron capture by fats He+ ions in inert gases
//
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research
B,
2011. V. 269, P. 834-836.
2010
Статьи
в журналах
1. Черник В. Н., Акишин А. И., Пасхалов А. А.,
Патракеев А. С., Бондаренко Г. Г., Гайдар А. И.. Рентгеновский микроанализ
поверхности поливинилтриметилсилана после воздействия ускоренного потока
кислородной плазмы // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные
исследования. 2010, № 4,
с.
59-63.
1a.
Chernik V. N., Akishin A. I., Paskhalov A. A., Patrakeev A. S., Bondarenko G.
G. , Gaidar A. I. X_Ray Microanalysis of Polyvinyltrimethylsilane Surface after
Impact of Accelerated Oxygen Plasma Flow // Journal of Surface Investigation.
X_ray, Synchrotron and Neutron Techniques, 2010, No. 4, pp. 322-326. pdf
2.
Александров В. А., Диденко П.И., Куликаускас В. С., Сабиров А. С., Филиппов
Г.М., Черныш В. С.. Движение ионов в системе частично упорядоченных нанотрубок
// Известия РАН, серия физическая, 2010, т.74, с. 1697-1700.