Документ взят из кэша поисковой машины. Адрес оригинального документа : http://www.cplire.ru/nano/equipment.html
Дата изменения: Mon Mar 21 07:32:48 2016
Дата индексирования: Sat Apr 9 23:43:14 2016
Кодировка:
Поисковые слова: фаербол
Laboratory of Low Dimensional Nanostructures. Equipment.

IRE RAS

Laboratory of Low Dimensional Nanostructures
Contacts
Staff
Publications
Projects
Equipment


Equipment

Установка SMI3050 FIB производства компании SII NanoTechnology Inc. для травления с помощью сфокусированного ионного пучка с разрешением до 4 нм.

Сканирующий электронный микроскоп EsB 1540 CrossBeam (компания Сarl Zeiss) с разрешением 1 нм.

Оптический микроскоп Аxio-Imager (компания Сarl Zeiss) c видеокамерой и интерферометрическим контролем толщины структур.

 
 

Contacts | Staff | Publications | Projects | Equipment
IRE RAS