Документ взят из кэша поисковой машины. Адрес оригинального документа : http://www.cplire.ru/nano/equipment.html
Дата изменения: Mon Mar 21 07:32:48 2016
Дата индексирования: Sat Apr 9 23:43:14 2016
Кодировка:
Поисковые слова: южная атлантическая аномалия
Laboratory of Low Dimensional Nanostructures. Equipment.

IRE RAS

Laboratory of Low Dimensional Nanostructures
Contacts
Staff
Publications
Projects
Equipment


Equipment

Установка SMI3050 FIB производства компании SII NanoTechnology Inc. для травления с помощью сфокусированного ионного пучка с разрешением до 4 нм.

Сканирующий электронный микроскоп EsB 1540 CrossBeam (компания Сarl Zeiss) с разрешением 1 нм.

Оптический микроскоп Аxio-Imager (компания Сarl Zeiss) c видеокамерой и интерферометрическим контролем толщины структур.

 
 

Contacts | Staff | Publications | Projects | Equipment
IRE RAS