|
А. Н. Шатохин, А. В. Демидов, Ф. Н. Путилин, М. Н. Румянцева, А. М. Гаськов
Исследование характеристик плазмы
палладия и платины для легирования поликристаллических пленок методом лазерной
абляции
Реферат
Изучены
процессы испарения мишеней Pd и Pt под действием излучения импульсного Kr-F-лазера. Особое внимание уделено
исследованиям плазмообразования в зависимости от плотности потока энергии
(мощности) лазерного излучения, определены пороги генерации плазмы Pd и Pt,
проведены эксперименты по зондированию плазмы, в результате которых получены
трехмерные спектры плотностей распределения зарядов ионов по кинетическим
энергиям и времени. Предложена модель лазерной абляции, качественно объясняющая
различия энергетических характеристик ионов Pd и Pt в плазме.
 Полный текст статьи в формате PDF
Вестник Московского Университета.
Химия 2001, том 42, ? 3, стр. 167-171
Copyright (C) Химический факультет МГУ, 2001
|
